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FilmSense 橢偏儀不得不說的優(yōu)點!

更新時間:2024-03-27  |  點擊率:2373
  FilmSense FS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設計,使用壽命大于5000小時,同時FS-1的設計結構沒有轉動部件以確保設備的穩(wěn)定性。總的來講,F(xiàn)S-1是一臺簡單易用的緊湊型設計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。
 

 

  FilmSense 橢偏儀的優(yōu)點
  1、沒有復雜的軟件設置和維護。
  2、測量精度只有用本儀器才能達到。
  3、快速多次測量(多波長數(shù)據(jù)在10毫秒)且長期可靠性。
  4、長壽命(>50000小時),不用頻繁更換昂貴的燈泡,或定時校正或周期維護。
  5、器對薄膜Δ參數(shù)相位差極其敏感,能夠準確的測量薄膜厚度低至0?。
  6、橢偏儀是測量比率,所以它對光束強度的變化,或樣品的缺陷引起散射光不敏感的。
  7、儀器在每個波長測量2個量(Ψ and Δ),可以確定2個定量比如薄膜厚度,以及光學常數(shù)或基底的折射系數(shù)和消光系數(shù)。
 

 

  FilmSense 橢偏儀的應用:
  1、FS -1可用于實驗室研究,教學,在線制程監(jiān)控,工業(yè)品質控制等應用。
  2、半導體行業(yè):硅的氧化物和氮化物,高和低k介質、多晶和非晶硅薄膜,光刻膠。
  3、光學涂覆工業(yè):高、低折射率薄膜如SiO2,TiO2,Ta2O5,MgF2,等。
  4、顯示行業(yè):導電層(如ITO),非晶硅薄膜、有機薄膜(OLED技術)。
  5、數(shù)據(jù)存儲產(chǎn)業(yè):類金剛石薄膜。
  6、R&D 工序:薄膜沉積的原位表征(速率和光學常數(shù))對應工藝條件的變化值,適用于MBE、MOCVD、ALD、濺射等。
  7、化學和生物:亞-單層材料吸附液體中的細胞實驗檢測。
  8、工業(yè):在線監(jiān)測和控制薄膜的厚度。
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