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橢偏儀的原理和特點(diǎn)介紹

更新時(shí)間:2024-03-27  |  點(diǎn)擊率:6674
  橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。
 
  基本原理:
  橢偏儀的原理主要依賴于光的偏振現(xiàn)象。當(dāng)光線通過某些物質(zhì)時(shí),其偏振狀態(tài)會發(fā)生變化。橢偏儀利用這一特性,通過精確控制入射光的偏振態(tài),并測量經(jīng)過樣品后光的偏振態(tài)變化,進(jìn)而分析樣品的性質(zhì)。
 

 

  橢偏法測量具有如下特點(diǎn):
  1.能測量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2個(gè)數(shù)量級。
  2.是一種無損測量,不必特別制備樣品,也不損壞樣品,比其它精密方法:如稱重法、定量化學(xué)分析法簡便。
  3.可同時(shí)測量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用。
  4.對一些表面結(jié)構(gòu)、表面過程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感。是研究表面物理的一種方法。

 

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