日韩夜夜高潮夜夜爽无码,《超大爆乳护士》在线观看 ,成av人片一区二区三区久久,99精品国产兔费观看久久

當前位置:首頁  >  技術文章  >  接近式光刻機在性能上都有哪些指標?

接近式光刻機在性能上都有哪些指標?

更新時間:2022-05-12  |  點擊率:1462
  接近式光刻機又名:曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是一種用于信息科學與系統(tǒng)科學、能源科學技術、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器。其工作方式是通過光的作用,將掩模版上的電路圖形投影到產(chǎn)品表面光刻膠上,然后顯影出圖形,最后經(jīng)過蝕刻、離子植入等制程定型形成有效的電路。
 

 

  工作原理:
  接近式光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,不同光刻機的成像比例不同,有5:1,也有4:1。然后使用化學方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。
  一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復雜的芯片,線路圖的層數(shù)越多,也需要更精密的曝光控制過程?,F(xiàn)在先進的芯片有30多層。
 
  性能指標:
  接近式光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產(chǎn)效率等。
  分辨率是對光刻工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
  對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。
  曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
  曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準分子激光器等。
豪妇荡乳1一5潘金莲| 久久人妻无码毛片a片麻豆| 99久久国产福利自产拍| 丰满少妇a级毛片| 亚洲AV成人无码天堂| 日本动漫瀑乳h动漫啪啪免费| 亚洲av片不卡无码久久| 精品人妻大屁股白浆无码| 国产人妻高清国产拍精品| 国产精品乱码人妻一区二区三区| 欧美性大战xxxxx久久久| 又大又粗又爽免费视频a片| 把女人弄爽a片免费视频| 日本无码色哟哟婷婷最新网站| 久久亚洲中文字幕伊人久久大 | mm131巨爆乳美女少妇动态图| 中文日产乱幕九区无线码| 亚洲熟女www一区二区三区| 国产一区二区精品久久| 久久久不卡国产精品一区二区| 狠狠色噜噜狠狠狠888米奇视频| 亚洲gv猛男gv无码男同短文| 青春草无码精品视频在线观看 | 国产精品国产av片国产| 少妇被下春药玩弄a片| 亚洲AV午夜国产精品无码中文字 | 欧美 亚洲 国产 另类| 无码精品人妻一区二区三区AV| 妻子6免费完整版电影| 国产日韩AV免费无码一区二区| 青柠影视西瓜视频在线观看| 免费无码又爽又刺激高潮| 真人做人60分钟啪啪免费看| 香蕉久久夜色精品升级完成| 国产v综合v亚洲欧美久久| 色偷偷88888欧美精品久久久| 日本黄a级a片国产免费| 末成年女AV片一区二区丫| あかねさす少女免费| 最新中文字幕av专区 | 免费观看夜里30款禁用软件|