日韩夜夜高潮夜夜爽无码,《超大爆乳护士》在线观看 ,成av人片一区二区三区久久,99精品国产兔费观看久久

當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  接近式光刻機(jī)在性能上都有哪些指標(biāo)?

接近式光刻機(jī)在性能上都有哪些指標(biāo)?

更新時間:2022-05-12  |  點擊率:1465
  接近式光刻機(jī)又名:曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)、電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗儀器。其工作方式是通過光的作用,將掩模版上的電路圖形投影到產(chǎn)品表面光刻膠上,然后顯影出圖形,最后經(jīng)過蝕刻、離子植入等制程定型形成有效的電路。
 

 

  工作原理:
  接近式光刻機(jī)通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,不同光刻機(jī)的成像比例不同,有5:1,也有4:1。然后使用化學(xué)方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。
  一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復(fù)雜的芯片,線路圖的層數(shù)越多,也需要更精密的曝光控制過程。現(xiàn)在先進(jìn)的芯片有30多層。
 
  性能指標(biāo):
  接近式光刻機(jī)的主要性能指標(biāo)有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準(zhǔn)精度、曝光方式、光源波長、光強(qiáng)均勻性、生產(chǎn)效率等。
  分辨率是對光刻工藝加工可以達(dá)到的最細(xì)線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
  對準(zhǔn)精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。
  曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
  曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準(zhǔn)分子激光器等。
亚洲色大成网站www永久| 天天看片高清影视在线观看| 国产精品视频永久免费观看| 欧美丰满熟妇BBBBBB百度| 色偷偷88888欧美精品久久久 | 精品久久久久久无码专区| 国产八十老太另类| 国产99久久久国产精品免费| 金瓶梅1-5电影免费观看在线| 粗大挺进朋友人妻淑娟 | 久久99精品久久久久久hb无码 | 隔壁的少妇2做爰韩国电影| 伊人激情av一区二区三区| 好男人www免费高清视频在线观看| 香蕉人妻av久久久久天天| 日本丰满bbwbbw| 色88久久久久高潮综合影院| 香蕉啪视频在线观看视频久| 挺进邻居丰满少妇的身体| 年轻的女士2在线观看 | 日韩人妻无码精品一区二区三区| 亚洲中文字幕无码专区| 国产亚洲精品久久久久久久软件 | 8AV国产精品爽爽ⅤA在线观看| 国产网红女主播精品视频| 好想被狂躁a片免费久99| 色狠狠一区二区三区香蕉| 4399日本在线观看完整| 日本三级在线观看免费| 国产免费一区二区在线a片视频| 99久久久无码国产精品性| 亚洲av无码色情第一综合网| 香蕉人妻av久久久久天天| 亚洲av永久无码精品网站| 中文无码一区二区不卡AV| 亚洲人成色777777精品音频| 亚洲精品一区二区另类图片| 少妇呻吟翘臀后进爆白浆| 亚洲国产精品无码久久久老少| 人妻夜夜爽天天爽| 欧美日韩一区二区三区自拍|