三維形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標準方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺階高度，距離，面積，角度和體積進行多范圍測量。
三維形貌儀是采用先進的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統(tǒng)和解析算法，進行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測量結(jié)果。
標準配置采用六軸手動調(diào)整的載物平臺，可依據(jù)不同測試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動載物平臺，以實現(xiàn)自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測量過程簡便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。
三維形貌儀工作原理
它是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
三維形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，只需單擊按鈕，就能轉(zhuǎn)換成像模式。這種組合可以輕松地對任何表面進行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢，并且各項技術(shù)彼此互補。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
