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細(xì)說光學(xué)膜厚儀的應(yīng)用、優(yōu)點以及使用注意事項

更新時間:2021-05-26  |  點擊率:1825
  光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運(yùn)用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程,由于誤差經(jīng)常會導(dǎo)致產(chǎn)品全部報廢,這時候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。
  
  典型應(yīng)用領(lǐng)域:
  半導(dǎo)體制造業(yè),光刻膠、氧化物、硅或其他半導(dǎo)體膜層的厚度測量;
  生物醫(yī)學(xué)原件:聚合物/聚對二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層;
  微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡;
  液晶顯示器:盒厚;聚酰亞胺;導(dǎo)電透明膜。
 
  儀器的使用優(yōu)點:
  1、測量數(shù)據(jù)多樣:可以測得物體的膜厚度和n,k數(shù)據(jù),這是其它類型的膜厚儀所不具備的特點;
  2、測量快速:光學(xué)膜厚儀的測量過程非??焖?,因為該設(shè)備采用了先進(jìn)的結(jié)構(gòu)設(shè)計,能夠極大程度的提升測量效率,相比于其他類型膜厚測量設(shè)備來說顯得非常輕巧方便;
  3、非接觸式測量:光學(xué)膜厚儀采用的原理是通過光的反射原理對膜層厚度進(jìn)行測量,屬于非接觸式測量方法,不會對樣品造成任何損傷,能夠保證樣品的完整性;
  4、適用范圍廣:光學(xué)膜厚儀的適用范圍非常廣泛,從普通家用到工廠的工業(yè)生產(chǎn),再到大學(xué)實驗室和科學(xué)研究所,都可以看到它的身影,由此可見它的使用范圍極其廣泛,能夠作業(yè)的場合也變得更加多樣化。
 
  光學(xué)膜厚儀的使用注意事項:
  1、零點校準(zhǔn):在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn),因為之前的測量參數(shù)會影響該次對物體的測量,零點校準(zhǔn)可以消除前次測量有參數(shù)的影響,能夠降低測量的結(jié)果的誤差,使測量結(jié)果更加精確。
  2、基體厚度不宜過?。涸谑褂霉鈱W(xué)膜厚儀對物體進(jìn)行測量時基體不宜過薄,否則會極大程度的影響儀器的測量精度,造成數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確,影響測量過程的正常進(jìn)行。
  3、物體表面粗糙程度:對于被測物體的表面不宜太過粗糙,因為粗糙的表面容易引起光的衍射,降低了光學(xué)膜厚儀的測量精度,造成很大的誤差。所以被測物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑,以保證測量結(jié)果的精確性。
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