本產(chǎn)品主要是用于檢測(cè)晶圓表面的缺陷。是一套實(shí)用的晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)。無(wú)論用戶對(duì)樣品檢驗(yàn)有什么具體要求，我們都能提供廣范的解決方案來(lái)獲得快速的結(jié)果。
nSpec LS是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運(yùn)行多個(gè)掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費(fèi)力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方保存和修改也是非常方便的。
1. 半自動(dòng)晶圓缺陷檢測(cè)功能
·基板，外延和圖案化晶圓
·透明和不透明的材料
·在膠片膠帶，托盤，凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
·光罩
·樣品碎片
2. 系統(tǒng)特征
·多種分辨率設(shè)置，范圍從0.25 µm及更高
·快速掃描
·可定制的缺陷報(bào)告
·各種樣品夾頭可滿足特定需求
·對(duì)缺陷或感興趣的特征進(jìn)行檢測(cè)和分類的魯棒分析
·檢查和審查程序
·多系統(tǒng)同步
·占地面積小，設(shè)施要求zui少
·機(jī)架安裝控件
3. 系統(tǒng)參數(shù)
重量：318 kg
外觀尺寸(W x D x H)：53 cm x 133 cm x 176 cm
zui小氣壓：24 in. Hg (70 kPa)
電源：110v/220v, 3.5 amps
光學(xué)器件：
照明模式：Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
光源：白光LED(也可選其他)
物鏡倍率：2.5, 5, 10, 20, 或50x，用戶可選
工作臺(tái)：
典型行程：200 mm，X和Y方向
定位：帶有閉環(huán)編碼器的線性伺服電機(jī)(分辨率為50 nm)
重復(fù)性：+/- 0.5 µm
行程平整度：30 µm
結(jié)構(gòu)：精密地面滾道和交叉滾子軸承
支撐平臺(tái)：顯微鏡/重型底座集成到隔離臺(tái)中
中心負(fù)載能力：2.27 kg
重量：11.33 kg
尺寸(W x D x H)：35 cm x 37 cm x 4 cm
備選功能：
AFM原子力顯微鏡：可根據(jù)要求提供規(guī)格
SECS/GEM
透射光
自動(dòng)傳送晶圓片
產(chǎn)品型號(hào)：Nanotronics nSpec LS