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FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

簡(jiǎn)要描述:FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng),用于全自動(dòng)圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測(cè)量。電動(dòng)X-Y載物臺(tái)提供適用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程,通過真空固定在載臺(tái)上時(shí)進(jìn)行精確測(cè)量??梢罍y(cè)量厚度和波長(zhǎng)范圍應(yīng)用需求可在在 200-1700nm 光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1435

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模塊化厚度測(cè)繪系統(tǒng)集成了光學(xué)、電子和機(jī)械模塊,可兼用于對(duì)無圖形和圖形薄膜(例如微圖形表面、粗糙表面)進(jìn)行精確測(cè)量 。

將晶圓放置在真空吸盤上(晶圓尺寸直徑≤300mm)并配備反射率標(biāo)準(zhǔn)件。 由功能強(qiáng)大的光學(xué)模塊執(zhí)行測(cè)量,光斑尺寸小至幾微米。電動(dòng)平臺(tái)提供XY方向 300 毫米的行程,在速度、精度和可重復(fù)性方面具有優(yōu)秀的性能

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:

o 實(shí)時(shí)反射率光譜測(cè)量

o 薄膜厚度、光學(xué)特性、非均勻性測(cè)量、厚度測(cè)繪

o 使用集成的、USB 連接的高質(zhì)量彩色相機(jī)進(jìn)行成像

o 測(cè)量參數(shù)廣泛統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)

o 半自動(dòng)圖案對(duì)準(zhǔn)功能用于測(cè)量周期性圖形區(qū)域

o 不一樣的軟件功能,例如:Click2Move (螢?zāi)稽c(diǎn)擊定位量測(cè)點(diǎn))、比例尺


附件:

  • FR-AutoFocus:100mm 長(zhǎng)線性軸,用于自動(dòng)對(duì)焦,具有兩種操作模式:圖像對(duì)焦(對(duì)比度)/ 反射強(qiáng)度

  • Rotation Module:旋轉(zhuǎn)模塊電動(dòng)平臺(tái)提供高的分辨率和精度

  • FR-FilterWheel:電動(dòng)濾光輪模塊帶有可容納 12 個(gè)濾光片的插槽由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制: 濾光片尺寸:直徑0.5英寸,最多6個(gè)過濾器(1英寸)

  • FR-AutoTurret:自動(dòng)轉(zhuǎn)塔由計(jì)算機(jī)控制可容納 4 個(gè)物鏡:鏡頭切換速度約為 1.0-3.0 秒

  • Lenses:長(zhǎng)工作距離 VIS/NIR 鏡頭: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X

  • 反射式 UV/NIR 鏡頭: 10X, 15X, 25X, 40X

  • Pump:低噪音真空泵,2.5L/min,真空度-60kPa.

  • Chucks:6 英吋光掩??ūP6 英吋帶參考片區(qū)域 ,多晶圓卡盤(100-300 毫米和不規(guī)則形狀片),包括參考區(qū)域和暗區(qū),用于自動(dòng)基準(zhǔn)


規(guī)格:

屏幕截圖 2024-03-25 104700.png


二維厚度圖:

FR-Scanner XY-300_1.jpg

3D厚度圖:

FR-Scanner XY-300_2.jpg


測(cè)量原理:屏幕截圖 2024-03-25 105726.png




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