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岱美中國(guó)拿到客戶第2/第3臺(tái)膜厚測(cè)量?jī)x訂單(2023,07)

發(fā)表時(shí)間:2023/9/4 10:55:07

該客戶是中國(guó)碳化硅(SiC)功率器件產(chǎn)業(yè)化的chang導(dǎo)者之一,于2021年安裝了第一臺(tái)ThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic,因機(jī)臺(tái)使用狀況良好,客戶今年追加購買了第2臺(tái)和第3臺(tái)設(shè)備(包括可見光和紫外光范圍)。
FR-Scanner-AIO-Mic膜厚測(cè)量?jī)x采用的是波長(zhǎng)范圍在370-1020nm的可見光干涉測(cè)量,能夠測(cè)量12nm-90um范圍的膜層厚度(5X鏡頭),準(zhǔn)確度高達(dá)0.2%或2nm,精度為0.02nm,是一款性價(jià)比很高的膜厚測(cè)量設(shè)備。FR-Scanner的紫外光配置,波長(zhǎng)范圍低至200nm, 能應(yīng)用于4nm-60um范圍的膜層厚度(5X鏡頭),準(zhǔn)確度高達(dá)0.1%或1nm。市場(chǎng)上大多數(shù)膜厚測(cè)量?jī)x在增加了顯微鏡配置后,設(shè)備的膜厚測(cè)量范圍出現(xiàn)大幅度縮減,但ThetaMetrisis產(chǎn)品不會(huì)出現(xiàn)這種情況,其膜厚測(cè)量范圍仍然寬廣。值得一提的是,實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)Mapping測(cè)量功能是FR-Scanner系列的標(biāo)配。

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