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適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場(chǎng)的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀，納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點(diǎn)和線傳感器），為在線過程測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作，可配制成獨(dú)立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級(jí)至LAS （C/R/Z），多種樣品處理能力

QuickOCT-4D™ 將單點(diǎn)可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)相結(jié)合，可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測(cè)量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達(dá) 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對(duì)半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。

晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對(duì)射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量，結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級(jí)精度的測(cè)量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實(shí)現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測(cè)量?jī)?nèi)容包括：包括 TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 測(cè)試)。

Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。