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三維形貌儀通過集成一對單點，非接觸式，納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速，納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運動，QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前，后和基準(zhǔn)表面3D點云地形，用于托盤中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。

專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計，如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡

適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟實惠的表面輪廓儀，納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點和線傳感器），為在線過程測量和控制而設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作，可配制成獨立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z），多種樣品處理能力

QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合，可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優(yōu)化。