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產(chǎn)品分類
Product Category
FR-Ultra晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
FR-ES精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量?jī)x
EVG770 NT分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)
EVG850 TB自動(dòng)化臨時(shí)鍵合系統(tǒng)
EVG620 NT掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)系統(tǒng)
LODAS™ – LI系列FPD Photomask缺陷檢查裝置
LODAS™ – BI12GlassWafe缺陷檢查裝置
LODAS™ – BI8Photomask Blanks缺陷檢查裝置
LODAS™ – AI50/100Photomask Blanks缺陷檢查裝置
FR-Ultra 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150自動(dòng)化高速薄膜厚度測(cè)量?jī)x
WM 300光學(xué)粗糙度測(cè)試儀
PLS-F1000晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
P03Q-6LS Plasma微波等離子清洗機(jī)
Nanotronics nSpec Macro微流控缺陷檢測(cè)
Delcom 20J3 STAGE薄膜電阻測(cè)量?jī)x
Nanotronics nSpec LS晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)
Herz電鏡隔振臺(tái)