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振動克星之主動隔振臺的精密控制之道
2025-03-18

在現(xiàn)代精密工程和科學(xué)研究中,主動隔振臺扮演著至關(guān)重要的角色。這種高科技設(shè)備通過精密的傳感器網(wǎng)絡(luò)和先進(jìn)的控制算法,為精密儀器創(chuàng)造了一個近乎靜止的工作環(huán)境,使其能夠在納米尺度上進(jìn)行精確操作和測量。主動隔振臺的核心在于其特殊的反饋控制機(jī)制。系統(tǒng)由...

  • 2022-11-24

    接下來為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測量應(yīng)用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準(zhǔn)確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介紹集成電路特征尺寸的持續(xù)縮小,對化學(xué)機(jī)械拋光后的平整度要求日益提高。氧化釔(Y2O3)是一種非常有前景的抗等離子涂層材料,可作化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)磨料,應(yīng)用十分廣泛。因其優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和對具有高氧親和力的堿性熔體的出色耐受性,Y2O3被用在許多特殊材料上,例如絕緣體、玻璃、導(dǎo)...

  • 2022-11-24

    FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),光學(xué)膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程,可在200-1700nm光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學(xué)膜厚儀模塊化厚度測繪系統(tǒng)平臺,集成了先進(jìn)的光學(xué)、電子和機(jī)械模塊,用于表征圖案化薄膜光學(xué)參數(shù)。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。該機(jī)型光學(xué)模塊功能強(qiáng)大,可測量的光...

  • 2022-11-24

    掩模對準(zhǔn)光刻機(jī)是將二維圖案轉(zhuǎn)印到平坦基板上的方法??梢酝ㄟ^以下兩種基本方法之一實(shí)現(xiàn)圖案化:直接寫入圖案,或通過掩模版/印章轉(zhuǎn)移圖案。限定的圖案可以幫助限定襯底上的特征(例如蝕刻),或者可以由沉積的圖案形成特征。通過計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)定義圖案模式。多數(shù)情況下,這些特征是使用抗蝕劑形成的,可以使用光(使用光致抗蝕劑),電子束(使用電子束抗蝕劑)或通過物理沖壓(不需要抗蝕劑,也叫納米壓?。﹣矶x圖案特征。圖案的特征可以被轉(zhuǎn)移到另一個層蝕刻,電鍍或剝離。掩模對準(zhǔn)光刻機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域...

  • 2022-11-21

    表面粗糙度怎么檢測,表面粗糙度的檢測,我們常用的有以下幾中方法。1.顯微鏡比較法,Ra0.32;將被測表面與表面粗糙度比較樣塊靠近在一起,用比較顯微鏡觀察兩者被放大的表面,以樣塊工作面上的粗糙度為標(biāo)準(zhǔn),觀察比較被測表面是否達(dá)到相應(yīng)樣塊的表面粗糙度;從而判定被測表面粗糙度是否符合規(guī)定。此方法不能測出粗糙度參數(shù)值。2.光切顯微鏡測量法,Rz:0.8~100;光切顯微鏡(雙管顯微鏡)是利用光切原理測量表面粗糙度的方法。從目鏡觀察表面粗糙度輪廓圖像,用測微裝置測量Rz值和Ry值。也可...

  • 2022-11-17

    掩模對準(zhǔn)光刻系統(tǒng)與我們的生活息息相關(guān),我們用的手機(jī),電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品,里面的芯片制作離不開光科技束。如今的世界是一個信息社會,各種各樣的信息流在世界流動。而光刻系統(tǒng)是保證制造承載信息的載體。在社會上擁有不可替代的作用。光刻系統(tǒng)的技術(shù)原理:掩模對準(zhǔn)光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機(jī)...

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